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揭開芯片工藝和摩爾定律背后的“秘密”

2021-11-22 14:52:09

       1965年,硅谷傳奇,仙童“八叛徒”之一,英特爾原首席執(zhí)行官和榮譽主席,偉大的規(guī)律發(fā)現(xiàn)者戈登·摩爾正在準備一個關于計算機存儲器發(fā)展趨勢的報告。在他開始繪制數(shù)據(jù)時,發(fā)現(xiàn)了一個驚人的趨勢。每個新的芯片大體上包含其前任兩倍的容量,每個芯片產生的時間都是在前一個芯片產生后的18~24個月內,如果這個趨勢繼續(xù),計算能力相對于時間周期將呈指數(shù)式的上升。這個就是大名鼎鼎的摩爾定律, 其對集成電路產業(yè)的發(fā)展描述,異乎尋常的正確。

總結來說:

1:集成電路芯片(wafer)上所集成的電路的數(shù)目,每隔18個月就翻一番。

2、微處理器的性能每隔18個月提高一倍,而價格下降一半。

3、用一美元所能買到的計算機性能,每隔18個月翻兩番。

      這樣相同的大小的wafer,可以生產出多一倍的芯片。如果上一代工藝芯片面積是1mm2,在新工藝上,面積就是新工藝的一半,也就是0.5mm2。我們假設兩代工藝wafer成本一樣(一般新工藝會貴一些),那么采用新工藝,其成本是原來工藝成本的一半。

       這個就是摩爾定律揭示的現(xiàn)實:那就是,采用新工藝的芯片,面積更小,功耗更優(yōu),頻率更高,成本還更低。這個就是新工藝對老工藝降維式的打擊!這些優(yōu)點和好處就是驅動芯片工藝不斷進步的發(fā)動機,也就是摩爾定律的內涵。

那如果芯片工藝進步,每個晶體管的尺寸就會縮小,那到底縮小多少?         如上圖所示,晶體管數(shù)量保持不變的情況下, 下一代新工藝的芯片面積是上一代的一半。那么X和Y什么關系。

如果我們按照正方形來計算的話?

      那么新工藝大約是老工藝晶體管尺寸的0.7倍。也就是晶體管會縮小0.7倍。

那根據(jù)摩爾定律,我們利用初中數(shù)學知識,就能算出每一代工藝的進步,從800nm開始(這個80586的工藝節(jié)點)。

         而芯片工藝的發(fā)展也印證了這一點:從0.8 μ m、0.5 μ m、0.35 μ m、0.25 μ m、0 .18 μm、0.13 μ m、90nm、65nm、45nm、32nm、22nm、16nm、10nm、7nm,5nm。實際的工藝節(jié)點,符合了這個要求。摩爾定律和現(xiàn)在芯片制程完全吻合。我們都知道,一個工藝節(jié)點研發(fā)成功后,其研發(fā)成本是很高的。如果可以在這個工藝節(jié)點上持續(xù)優(yōu)化,面積,功耗等等。也是一種最大化利用原有投入的方式。就像intel就在14nm上做的一樣。14nm+++持續(xù)優(yōu)化。

 

       而我們今天講的shrink,也是一種優(yōu)化。它本質上是利用光照(MASK)等比例縮放后。晶體管尺寸縮小一點,芯片仍然能夠正常工作,從而減少芯片面積,降低成本。那么shrink的比例是多少?Shrink 一般可以將晶體管的尺寸縮小0.9倍。

       大約每個邊長縮放為0.9;整體面積縮小0.81;這個過程又稱為,芯片收縮(die shrink)。然而,按比例縮小可能引入新的問題,例如漏電流增大,但是通過工藝參數(shù)可以來調節(jié)漏電,shrink在不改變工藝特性的基礎上,修修補補,也能挖掘這個工藝節(jié)點的潛力。這些shrink后的工藝節(jié)點,也被人稱為半節(jié)點。例如:40nm是45nm shrink后的半節(jié)點;28nm是32nm  shrink后的半節(jié)點;20nm是22nm shrink后的半節(jié)點;14nm也可以看作16nm shrink后的半節(jié)點;把前面的工藝,乘以0.9就可以了。

       DIE shrink是芯片制造廠家來做的,和芯片設計公司沒有關系。工程師設計完成的版圖都是 pre shrink的,而到了廠家生產的時候,直接進行shrink,生成的die的面積比版本等比例縮小。所以我們現(xiàn)在芯片設計工程師,做40nm或者28nm等半節(jié)點工藝時,都有一個shrink的流程。會發(fā)現(xiàn),芯片的版圖比實際的DIE的面積要大。如果我們計算最后的DIE(芯片)面積,實際上要算shrink之后的,而不是版圖的面積。

      EDA工具標注的都是shrink前(pre shrink)的面積。那就是設計公司給了芯片制造廠一張10X10的設計圖紙,而芯片廠生產的尺寸卻是9x9。這些優(yōu)化后的,40nm,28nm等等,成為了更成熟和長壽的工藝。而原有的45nm,32nm等,與優(yōu)化后的40nm,28nm相比,不再具有優(yōu)勢,廠家不再推這些工藝工藝。

      事實上,業(yè)界通常把45nm/40nm, 32nm/28nm, 22nm/20nm, 16nm/14nm 這些工藝節(jié)點,看作同一個工藝節(jié)點,是一代,只是廠家通過shrink這種手段,進行的優(yōu)化。加上shrink以后,我們看到目前的28nm,14nm,10nm,7nm,5nm都可以用摩爾定律上一節(jié)的初中數(shù)學知識算出來。嚴絲合縫,理論和實際吻合的很好。

       但是,事實果真如此嗎?這些數(shù)字里面隱藏著一個極大的隱情。

 

   

      大約從20世紀60年代到90年代末,節(jié)點的命名是基于它們的柵極長度命名的。IEEE的此圖表顯示了以下關系。柵極長度(gate length)和半節(jié)距(芯片上兩個相同特征之間的距離的一半)匹配工藝節(jié)點名稱。


     

      但是在28nm以下,由于采用finfet這些新的技術,這些和實際的節(jié)點和柵極長度,以及半節(jié)距(half-pitch)就匹配不上了。

 

 

      如果保持節(jié)點名稱和實際特征尺寸同步,就會如紅線所示,2015年前,芯片制造的最小工藝尺寸就會跌破1nm,廠家暗渡陳倉了。而實際上,整個工藝曲線更接近藍線所示。你以為的7nm,5nm,早已不是原來指的柵極長度(gate length),或者(half-pitch)半節(jié)距。那這個7nm,5nm怎么來的。

       由于半導體制造涉及巨大的資本支出和大量的長期研究。從論文中引入新技術方法到大規(guī)模商業(yè)制造的平均時間約為10-15年。幾十年前,半導體行業(yè)認識到,如果有一個節(jié)點介紹的總體路線圖以及這些節(jié)點將針對的功能尺寸,這將對參與芯片流程的每個單位都用導引作用。也就是說,比如,2025年,我們畫個大餅要搞1nm,那么,這個時候所需要光刻設備廠家,刻蝕設備廠家,材料廠家,研究機構等等,都要瞄準這個目標來做。這個路線圖,主要是“為大學、財團和行業(yè)研究人員提供未來的主要參考,以刺激各個技術領域的創(chuàng)新”。也就是說,要給芯片制造從業(yè)者畫一個大餅。多年來,國際半導體技術路線圖(ITRS)發(fā)布了該行業(yè)的總體路線圖。這些路線圖延續(xù)了15年,為半導體市場設定了總體目標。

       摩爾定律這個就是這么粗暴。一直從幾百nm,干到5nm或者3nm。關鍵是,數(shù)學可以這么算,物理能這么搞嗎?這么搞,是不是有點太草率了。不久之后, ITRS(國際半導體技術路線圖)這個組織也明白了,這么搞是不行的。 不能把柵極長度(gate length)或半節(jié)距(half-pitch)與節(jié)點大小聯(lián)系起來的原因是:因此這些尺寸要么停止縮放,要么縮放得更慢了。粗暴的乘以0.7還能指望晶體管能工作。這種晶體管,工業(yè)界制造不出來。于是,在2010年,ITRS將每個節(jié)點上的技術,統(tǒng)稱為“等效縮放”。也就是說,不用實際對應上,你覺得差不過就行。也就是說,7nm,5nm,早已不是原來指的柵極長度(gate length),或者(half-pitch)半節(jié)距。

      這種改變,反應了芯片制造業(yè)的現(xiàn)狀:臺積電的Philip Wong在Hot Chips 31主旨演講中說:“它過去是技術節(jié)點,節(jié)點編號,意味著一些東西,晶圓上的一些功能。”但是:“今天,這些數(shù)字只是數(shù)字。它們就像汽車模型——就像寶馬5系或馬自達6。數(shù)字是什么并不重要,它只是下一項技術的目的地,它的名稱。因此,我們不要把節(jié)點的名稱與技術實際提供的相混淆。”

       5nm,7nm這些和寶馬5,馬自達6沒有什么區(qū)別。這些只是營銷的手段而已。不是大眾要把這個名字相混淆。而是這些芯片制造廠商,搞這些營銷詞匯,不就是想混淆工藝制程的節(jié)點和晶體管的實際尺寸嗎?

      雖然摩爾定律這艘大船進入淺水區(qū),快擱淺了。讓我們一起晃動這艘大船,假裝摩爾定律啟示的那樣繼續(xù)前進,所以英特爾就有人提出來了。不要扯,5nm,7nm了,直接比拼一下單位面積晶體管的數(shù)量好了。

下面就是這個公式:


      英特爾的芯片制造專家Mark Bohr提出來的, 它認為每個芯片制造商在提及工藝節(jié)點時,都應披露其邏輯晶體管密度,單位為MTr/mm2(每平方毫米數(shù)百萬個晶體管),這個也就是解釋了,為什么英特爾的10nm和臺積電的7nm,雖然看起來是兩代,但是二者的晶體管密度基本一樣。

 


      但是,這個公式太復雜了。怎么可能有7nm,5nm對大眾的宣傳效果好。英特爾本身自己在命名方案里面,也沒有真正遵循柵極長度(gate  length)的模型。

從下表來看,隨著工藝的進步,玩家越來越少了。

       高端玩家就剩下了臺積電和三星,還有一直要追趕的英特爾。明年,三星和臺積電的3nm都號稱要量產。但是這一次,我們應該知道,這個只是一代工藝代號而已,和3nm本身沒有太大的關系了。

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