技術(shù)服務(wù)

新設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)（離子源開發(fā)與生產(chǎn)）。

進(jìn)口二手設(shè)備的翻新再制造、技術(shù)支持與服務(wù)、備品備件銷售。

針對生產(chǎn)線建設(shè)與改造擴(kuò)產(chǎn)等項(xiàng)目，提供從國內(nèi)及國外的設(shè)備檢查、拆機(jī)、包裝運(yùn)輸、安裝調(diào)試等服務(wù)。

功率器件 VDMOS、SBD、FRED等Power基礎(chǔ)工藝平臺的提供，包括典型工藝流程及產(chǎn)品、單項(xiàng)工藝技術(shù)的開發(fā)支持。

單項(xiàng)工藝 包括：背面技術(shù)化工藝的提供與改進(jìn)、Stepper光刻規(guī)則的制訂與工藝實(shí)施、Trench刻蝕工藝的支持、背面減薄工藝的支持、以及客戶需求的其它支持等。