用途：

主要用于生產(chǎn) LED 高亮度藍(lán)綠光外延片。所謂外延片是通過高科技生長技術(shù)生長而成的片狀產(chǎn)品，通過芯片器件制作以及封裝后便做成了我們熟悉的 LED 及其他發(fā)光器件。

應(yīng)用于大屏幕顯示、交通信號燈、手機(jī)背景燈等。

工作原理和使用說明：

TurboDisc K465i GaN MOCVD 外延生長系統(tǒng)，能夠批量生產(chǎn) GaN-基藍(lán)、綠光 LEDs和藍(lán)光激光器，以及 GaN 功率器件等。K465i 采用了 Veeco 最先進(jìn)的 TurboDisc 反應(yīng)室技術(shù)，其產(chǎn)能優(yōu)于其他同類系統(tǒng)約 50%。

該設(shè)備由以下幾部分組成：

生長反應(yīng)腔體（Reactor）：不銹鋼真空腔體是整個設(shè)備的核心部分，提供外延生長的環(huán)境。擁有 Veeco 的專利技術(shù)-Turbodisc 腔體設(shè)計。位于底部的加熱絲提供1000℃以上的高溫反應(yīng)環(huán)境。反應(yīng)腔頂部的氣體配流盤將氣體配送系統(tǒng)輸送的反應(yīng)氣體按照一定的比例分配到反應(yīng)腔體。底部可以高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)帶動在承載晶片的載片器高速旋轉(zhuǎn)，使反應(yīng)氣體均勻分配到晶圓表面，發(fā)生反應(yīng)。該設(shè)備實行了模塊化設(shè)計：反應(yīng)腔，晶圓傳送系統(tǒng)等部件可以和主設(shè)備分離，以便于搬運。

控制系統(tǒng)：提供整個設(shè)備的控制和電氣連接分配。包括主控軟件Nexus 的控制電腦，溫控系統(tǒng)的RealTemp 控制器，數(shù)據(jù)服務(wù)器，PLC，DeviceNet，系統(tǒng)的電氣開關(guān)和接線端子排，加熱絲加熱電源箱等。

氣體配送系統(tǒng)：調(diào)整反應(yīng)氣體的流量和壓力并輸送到反應(yīng)腔體。包括質(zhì)量流量控制器(MFC)，氣體壓力控制器（PC），金屬有機(jī)源溫度控制系統(tǒng)等。

真空系統(tǒng)：提供系統(tǒng)的真空。包括系統(tǒng)泵，輔助泵和廢氣排放系統(tǒng)。

外圍冷卻水系統(tǒng)：由兩臺熱交換器提供系統(tǒng)所需的冷卻循環(huán)水。

晶片搬運系統(tǒng)：將生長所需晶片搬送到反應(yīng)腔。包括手套箱，搬運真空腔（loadlock）等。

控制軟體：使用了不同于以往的全新的控制軟體Nexus。