前段時(shí)間，科友半導(dǎo)體年產(chǎn)10萬(wàn)片的碳化硅襯底項(xiàng)目已經(jīng)封頂，最近，露笑科技和乾晶半導(dǎo)體2家企業(yè)的6英寸碳化硅襯底也有新的進(jìn)展。

      11月3日，杭州乾晶半導(dǎo)體有限公司官網(wǎng)宣布，他們研發(fā)的6英寸碳化硅襯底晶片已經(jīng)通過(guò)公司內(nèi)部質(zhì)檢，首批樣品已正式提供客戶端進(jìn)行工藝驗(yàn)證。

        據(jù)了解，乾晶半導(dǎo)體與中國(guó)及日本公司達(dá)成戰(zhàn)略合作意向，可為國(guó)內(nèi)外客戶提供4、6寸碳化硅晶棒及晶片。
根據(jù)官網(wǎng)介紹，乾晶半導(dǎo)體成立于2020 年7月31日，是一家集碳化硅單晶生長(zhǎng)、晶片加工和設(shè)備開(kāi)發(fā)于一體的企業(yè)。其核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自于浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，與浙大科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室共同承擔(dān) SiC材料的產(chǎn)業(yè)化任務(wù)。

      2020年12月，乾晶半導(dǎo)體自行研發(fā)了4英寸碳化硅單晶爐，2021年9月成功長(zhǎng)出6英寸碳化硅單晶，并且實(shí)現(xiàn)了單晶生長(zhǎng)到晶片加工全線跑通。

       除了長(zhǎng)晶外，乾晶半導(dǎo)體的另一個(gè)技術(shù)特色是碳化硅晶片激光剝離技術(shù)。公告顯示，他們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了10*10實(shí)驗(yàn)樣品Demo。據(jù)“孵化未來(lái)+”9月29日消息，乾晶半導(dǎo)體、杭州國(guó)際科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院、西湖大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)，利用超快激光成功實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶片的剝離，取得了激光剝離晶體切片技術(shù)突破。

       眾所周知，目前碳化硅襯底的加工成薄圓片主要采用傳統(tǒng)的多線切割技術(shù)，但這種技術(shù)加工效率低、環(huán)境負(fù)擔(dān)重、材料損耗大，加工過(guò)程的材料損耗率高達(dá)50%以上，導(dǎo)致晶片成本高，襯底昂貴，難以大規(guī)模應(yīng)用。
而激光剝離技術(shù)的核心是利用激光脈沖在晶錠內(nèi)部預(yù)設(shè)深度形成碳化硅的非晶化破壞層，再借助外力作用，使晶片從非晶化層處分離，從而獲得目標(biāo)厚度的晶片。

       乾晶半導(dǎo)體表示，通過(guò)激光剝離技術(shù)，碳化硅襯底加工過(guò)程材料損耗低，晶圓表面缺陷層厚度小，總材料損耗率可降至20%左右，有望極大降低晶片成本。與多線切割相比，激光加工過(guò)程無(wú)廢液產(chǎn)生，對(duì)環(huán)境也更加友好。

       據(jù)露笑科技公告，11月7日，合肥露笑半導(dǎo)體一期已完成主要設(shè)備的安裝調(diào)試，進(jìn)入正式投產(chǎn)階段，該項(xiàng)目的建成投產(chǎn)可實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的突破。

       早在2020年8月10日，露笑科技就披露了《關(guān)于公司與合肥市長(zhǎng)豐縣簽署建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）產(chǎn)業(yè)園戰(zhàn)略合作框架協(xié)議的公告》，該項(xiàng)目一期投資21億元，達(dá)產(chǎn)后可形成年產(chǎn)24萬(wàn)片導(dǎo)電型碳化硅襯底片和5萬(wàn)片外延片的生產(chǎn)能力。
       據(jù)公告顯示，該項(xiàng)目總投資100億元，主要建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）的設(shè)備制造、長(zhǎng)晶生產(chǎn)、襯底加工、外延制作等產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)基地，且其襯底片已通過(guò)多家第三方單位的測(cè)試，已達(dá)到了P級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
根據(jù)今年9月份公告，2021-2023年期間，露笑的碳化硅營(yíng)收目標(biāo)累計(jì)要達(dá)到5億元，目前露笑已經(jīng)啟動(dòng)了員工持股計(jì)劃，為陳之戰(zhàn)等5位碳化硅業(yè)務(wù)核心配備200萬(wàn)股股票，合計(jì)投入近2500萬(wàn)元。

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