Applied Materials P5000 Introduction
好處：
經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的解決方案
高吞吐量
應(yīng)用：
分立器件
微機(jī)電系統(tǒng)
光電子學(xué)
包裝
高級(jí)包裝
過(guò)程：
P5000蝕刻
P5000化學(xué)氣相沉積
氧化硅
氮化硅
氮氧化物RIE
硅烷氧化物
氮化硅烷
氮氧化物
正硅酸乙酯
特征：
1–4個(gè)腔室：通用燈加熱CVD、MxP蝕刻、MxP+蝕刻、eMxP、ASP灰化器、晶圓定向器
大批量生產(chǎn)工具安裝基地
氧化硅和氮化硅的標(biāo)準(zhǔn)工藝
提供75至200毫米晶圓傳送
襯底處理：75mm–200mm SiC、藍(lán)寶石、石英、Ge、GaAs、GaN、硅
OEM集團(tuán)有限公司
雙極陶瓷ESC
透明晶圓
面向工廠自動(dòng)化的Orienter-GEMS接口
好處：
經(jīng)驗(yàn)證的可靠性
更好的過(guò)程控制和可重復(fù)性=更高的產(chǎn)量
增強(qiáng)的工廠自動(dòng)化支持
可靠且經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的介質(zhì)蝕刻和化學(xué)氣相沉積工藝
75mm、100mm、150mm和200mm的卓越價(jià)值主張
