Varian Ion Implant Introduction
瓦里安植入系統(tǒng)是一個(gè)經(jīng)過驗(yàn)證的平臺，具有廣泛的流程，為全球大型安裝基地所采用。瓦里安系統(tǒng)不僅僅是一個(gè)生產(chǎn)工具，在未來的幾年里，它還將為您的生產(chǎn)線做出貢獻(xiàn)。
好處：
經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的解決方案
行業(yè)最低CoO
高吞吐量
OEM集團(tuán)提供以下服務(wù)：
單晶片加工
工具銷售
升級
零件供應(yīng)：消耗品和非消耗品
維修服務(wù)：補(bǔ)救和合同支持
交換和翻新：磁盤、電源
工具移動和安裝
整修：現(xiàn)場大修
工程技術(shù)支持
加速柱
OEM集團(tuán)擁有這些瓦里安產(chǎn)品的所有知識產(chǎn)權(quán)和產(chǎn)品管理：
中頻：A200，DF/CF系列，350D，350DE，300XP
大電流：80-10、120-10、160-10、200-10、80XP、120XP、160XP
高頻：400/500 XP、G1500、G1510
應(yīng)用：
動力裝置
記憶
邏輯
模擬
離散的
微機(jī)電系統(tǒng)
晶圓尺寸：100mm、125mm和150mm
中電流：350D
摻雜種類：B+、As+、P+
能量：35–200千伏
變量提取：10–35 keV
最大束流：1.5mA As+，P+；0.6mA B+
劑量范圍：1E11至1E15 at/cm2
劑量均勻性：1σ<0.75%
劑量重復(fù)性：1σ<0.75%
