技 術(shù) 規(guī) 格 說(shuō) 明
一，光刻機(jī) SUSS MA6 ALIGNER 配置
01 設(shè)備基本配置:
-設(shè)備基于各機(jī)械部件、氣動(dòng)部件、電子器件組合而成。電力 230V-50/60Hz
-平臺(tái)由X/Y/Theta 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)
-WEC 工藝平臺(tái)
-手動(dòng)上下 wafer，單片作業(yè)。
-對(duì)位視頻信號(hào)通過(guò)顯示屏顯示。
-曝光應(yīng)用:可作業(yè) 4、6 寸圓片
- 350W 紫外汞燈燈箱
02 對(duì)準(zhǔn)方式：TSA
- X 方向電機(jī)移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)方向手動(dòng)
- Y 方向平臺(tái)移動(dòng)
03 曝光光源：350W 汞燈、350W 燈箱控制器
04 光路系統(tǒng)
-冷光鏡 UV400
-聚光透鏡
-前透鏡
-傅里葉鏡
-橢圓球面鏡 UV400HP
05 4 寸 MASK HOLDER ，4 寸 CHUCK
06 曝光模式：soft & hard contact exposures
二、光刻機(jī) SUSS MA6 工藝能力說(shuō)明
1. 汞燈光強(qiáng)：
量測(cè)方式：光強(qiáng)通過(guò) ORCUV-M03A 照度計(jì)量測(cè)，燈箱配置 350W 汞燈，燈箱開(kāi)啟穩(wěn)定后，進(jìn)行紫外光強(qiáng)測(cè)量。設(shè)備光照強(qiáng)度：光強(qiáng)在 15mw/cm²左右；
2. 光強(qiáng)均一性：
量測(cè)方式：使用 ORCUV-M03A 紫外照度計(jì)進(jìn)行量測(cè)。測(cè)量點(diǎn)如下圖：（5 點(diǎn)）
光強(qiáng)均一性：<±5%；
1. 曝光分辨率：
量測(cè)方式：光刻膠AZ 4512 光刻膠 1um 工藝驗(yàn)證：
驗(yàn)證條件： 膠厚 1um，烘烤條件為 90 度 3 分鐘（烘箱烘烤），顯影使用 AZ400K 或其配套顯影液。驗(yàn)證要求：
1、顯影后口尺寸可以滿足 3um
2、套刻精度：1.5um.
三、SUSS MA6 安裝條件及廠務(wù)
四、銘牌信息及外觀照
