CD-SEM S-8840 線寬測試儀 翻新設(shè)備技術(shù)規(guī)格書
一、 設(shè)備名稱：線寬測試儀二、 設(shè)備型號：S- 8840
三、 設(shè)備配置：
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編號 |
設(shè)備配置 |
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1 |
Wafer size: 6、8 inch(diameter:150mm 200mm) 晶片尺寸：6、8 英寸（直徑：150mm 200mm） |
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2 |
Wafer thickness: 0.4mm~ 1mm compatible 晶片厚度：0.4mm~1mm 兼容 |
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3 |
Wafer Cell Size：0.2~2inch 硅片單元尺寸：0.2~2inch |
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4 |
Cassette: 25pcs/lot 卡匣：25 片/批次 |
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5 |
1. 電子槍 Electron Gun 2. 真空腔室 Vacuum Chember 3. 真空泵 Vacuum Pump 4. 透鏡系統(tǒng) Lens System 5. X-Y 工作臺（X-Y Workplate) 6. 承片臺 8 寸 (Pick-up platform 8 inches ) 7. 硅片傳輸系統(tǒng) 8 寸 ( wafer transmission system 8 inches) 8. 硅片自動對準(zhǔn)系統(tǒng) （wafer Auto alignment system） 9. 操作界面, 主控過程人機(jī)操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process ) 10. 計算機(jī)系統(tǒng),整機(jī)主控計算機(jī)和系統(tǒng)控制應(yīng)用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program ) 11. 監(jiān)視器, 圖形和控制界面顯示( Monitor, Graphics and Control Interface Display) |
四、 設(shè)備性能：
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編號 |
設(shè)備性能 |
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1 |
Image Resolution：5nm 圖像分辨率：5nm |
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2 |
CD Measurement Rang: 0.1 ~ 10um CD 量測范圍：0.1 ~ 10um |
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3 |
CD Repeatability： 3σ≤5 nm or ≤±1 % CD 重復(fù)性： 3σ≤5 nm or ≤±1 % |
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4 |
Magnification： x 1000 ~ 150000 (SEM image)； x 110 （optical microscope image) 倍率： x 1000 ~ 150000 (SEM 圖像)； x 110 （光學(xué)顯微鏡圖像) |
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5 |
Depth of focus( DOF ): ≥1.0mm at 80000xmagnification 焦深：≥1.0mm at 80000xmagnification |
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6 |
Contact Hole image of high aspect ratio≥12 高縱橫比接觸孔圖像≥12 |
